半导体制程的突破，离不开洁净环境的精密把控，而同步带凭借齿形啮合、低尘低噪、免维护的特质，适配洁净室零污染、高精度、高稳定性的要求，贯穿晶圆制造、封测、检测全流程，成为半导体规模化量产、提升产品良率的关键传动部件之一。

          半导体洁净室对传动系统要求较高，需实现较低污染、微米级定位精度及24小时连续免维护运行，这正是同步带的核心适配领域之一。齿形带输送机是由齿形带、驱动模块、电机法兰、转接套、驱动轴保护套、驱动六棱轴、电机驱动轴、型材、导向耐磨条、导向耐磨块构成。最大单位负载0.6kg/cm,最大单机负载60kg,最大运行速度为20m/min,最大线体长度为6m,最大使用托盘宽度为640mm,；靠带与带轮齿上的齿相互啮合传动的同步带转动，结构简单、传动平稳、可以在大的轴间距和多轴间传递动力。

          光刻机中，它驱动掩模台、工件台实现纳米级定位与高速扫描，较好地提高光刻精度；晶圆搬运时，驱动机械臂与转运轨道，降低晶圆碰撞划伤；封测与检测环节，为各类设备提供传动支持，低噪运行减少对精密传感器的干扰，较好地提升检测准确率。

          同步带采用模块化部件，易于维护；散热性能较好，在转动等运行过程中，使用齿形带可以及时将热量散掉，降低了因高温而对机械设备产生的损坏;齿形带输送机传动较为准确，运输效率较高，工作时无滑动。此设备打破洁净室传动技术局限，全程护航半导体生产，助力企业提升效率、降低成本，为产业向更高精度、更大规模发展注入较强的动力。